淨化廠房的製度與紀律標準參數
淨化廠房的製度與(yu) 紀律標準參數
裝修淨化廠房內(nei) 的人是淨化廠房室內(nei) 汙染的重要來源。淨化工程必須盡可能減少淨化廠房內(nei) 人員活動所造成和傳(chuan) 播的汙染，以確保室內(nei) 潔淨度及降低維護費用。製定淨化廠房的紀律，其目的就是使產(chan) 品的汙染風險降至最低。
淨化廠房的運行管理人員在製定淨化廠房紀律時，首先，應該對淨化廠房內(nei) 工作的人員以及淨化廠房內(nei) 部運行工作人員，包括維修人員和服務人員的活動，製定嚴(yan) 格的紀律加以規範; 其次應該注意的是，淨化廠房內(nei) 所生產(chan) 的產(chan) 品對汙染的敏感性是不同的，而為(wei) 淨化廠房製定的紀律應反映出這一點。
1.1嚴(yan) 格控製進入淨化廠房的人員
人在行走時，每分鍾可以產(chan) 生約百萬(wan) 個(ge) 粒徑≥0.5um。淨化廠房內(nei) 人員越多，散發的粒子數量也越多。因此，管理人員應盡量控製淨化廠房內(nei) 人員數量，也就是說僅(jin) 允許必需的人員進人淨化廠房。
此外，還要盡量減少淨化廠房的參觀者。由於(yu) 參觀者沒有接受過淨化廠房工作培訓，因此 隻有在監管人員的管理之下，才能進入淨化廠房。理想的方案是為(wei) 淨化廠房設計供參觀者使用的觀察窗，這樣參觀者就不一定非要進入室內(nei) ，從(cong) 而減少了造成 汙染的概率。
1.1.1對淨化廠房工作人員的基本要求
淨化廠房的工作人員與(yu) 一般場所的工作人員相比，應該盡量減少人體(ti) 散發的汙染。淨化廠房運行管理人員應該製定詳細的要求，以期將室內(nei) 工作人員造成的汙染控製在可接受的範圍內(nei) 。
對淨化廠房工作人員身體(ti) 狀況的基本要求
淨化廠房工作人員應保持身體(ti) 健康，出現以下身體(ti) 狀況的人員，可能產(chan) 生大量的汙染粒 子。因此，直至症狀完全消除前，不宜進入淨化廠房工作。
患有某些皮膚病
特別是皮炎、皮膚灼傷(shang) 、頭皮屑過量等狀態時，因皮膚可能散布大量的皮細胞，而不 宜入淨化廠房工作。
患有呼吸係統疾病
例如感冒、慢性肺部疾病等，易造成過量咳嗽或打噴嚏而散發大量的飛沫，病愈前不 宜人淨化廠房工作。
過敏體(ti) 質的人員
過敏體(ti) 質人員容易有打噴嚏、搔癢、流鼻涕等症狀，一般不適合在淨化廠房內(nei) 工作。
可能攜帶某些微生物、病菌的人員
在生物淨化廠房中，有時必須將人員與(yu) 產(chan) 品隔離開，以防止人員可能攜帶的微生物病菌 在產(chan) 品上滋長，從(cong) 而損害產(chan) 品或造成疾病。這些人員對其所從(cong) 事的工作是否合適的問題， 應連同產(chan) 品對某種具體(ti) 類型的微生物在其上生長的敏感性一道予以考慮。
對淨化廠房工作人員衛生習(xi) 慣的基本要求
淨化廠房工作人員應保持良好的個(ge) 人生活與(yu) 衛生習(xi) 慣，不良習(xi) 慣同樣會(hui) 造成淨化廠房潛在 的汙染源，下列衛生習(xi) 慣要求淨化廠房工作人員在日常生活中予以關(guan) 注。
人員應有良好的個(ge) 人衛生習(xi) 慣
要定期洗澡，清除頭皮屑。每次理發後要洗頭，防止頭發屑落在產(chan) 品上。皮膚幹燥的 人，應使用護膚霜代替護膚油滋潤皮膚，以減少皮屑散發。
—般不允許進入淨化廠房工作時使用化妝品
各類化妝品、爽身粉、護發用品、頭發定型膠、指甲油等都不宜使用。淨化廠房通常將 人體(ti) 上的所有外來物都視為(wei) 汙染物。化妝品會(hui) 對淨化廠房造成汙染，因為(wei) 使用化妝品時都會(hui) 在皮膚上沉積大量的粒子（≥0.5um粒子數達109個(ge) ），其中的一些粒子可能會(hui) 釋放到淨化廠房中。
—般不允許在淨化廠房中使用手表及首飾，如耳環、項鏈、手鏈、戒指等
如果使用首飾，必須將首飾置於(yu) 服裝和手套之內(nei) 。戒指底下可能是藏汙納垢之處。而有的人員可能出於(yu) 情感上的原因，不願取下結婚戒指或定婚戒指。如果能將戒指及戒 指下麵的皮膚洗淨，也可允許戴著戒指。但戒指上可能刺破手套的地方，要用膠帶裹住為(wei) 妥。
進入淨化廠房前幾小時內(nei) 不宜吸煙
吸煙者的口中可比一般的人釋放出更多的粒子，他們(men) 的身體(ti) 也會(hui) 釋放出某些化學氣 體(ti) 。所以有些淨化廠房要求人員在進人淨化廠房前幾個(ge) 小時禁止吸煙。
3.對淨化廠房工作人員攜帶私人物品的限製
總的原則是非生產(chan) 所需的任何物品，不得帶人淨化廠房內(nei) 。具體(ti) 規章可由淨化廠房的管理 人員依據何種物品會(hui) 對產(chan) 品造成汙染來決(jue) 定。一般來說，下述物品應禁止帶入淨化廠房內(nei) : 食品、酒、糖果、口香糖；罐裝或瓶裝飲料；煙、火柴、打火機；自用的藥品、藥水、藥 膏；收音機、唱盤播放機、袖珍磁帶機、手機、呼機；報紙、雜誌、書(shu) 籍、手帕、麵巾 紙；鉛筆、橡皮、鋼筆；錢幣、錢夾、化妝品、手袋等。
1.1.2對淨化廠房維修人員和服務人員的基本要求
進入淨化廠房維修設備或提供服務的人員，同樣可能因缺乏培訓和監督，而對淨化廠房環境造成汙染。如果對維修技術人員事先未作說明，他們(men) 就可能會(hui) 采用與(yu) 淨化廠房外使用的同樣維修方法維修設備，其後果可能是嚴(yan) 重的。來自外麵公司的服務人員，可能未受過淨化廠房汙染控製方法的任何培訓。為(wei) 此下麵列出了進入淨化廠房的維修人員和服務人員應當了解的一係列相關(guan) 規章：
獲得許可方能進入
維修人員和服務人員隻有在得到淨化廠房管理人員的許可後，才可進人淨化廠房。
培訓與(yu) 監督
維修人員和服務人員應受過淨化廠房技術的培訓，此外，在淨化廠房他們(men) 的工作宜處在淨化廠房管理人員嚴(yan) 密的監督之下，進出淨化廠房的時間及工作情況等，應記錄備案。
穿著潔淨服
維修人員和服務人員必須穿著與(yu) 淨化廠房T作人員同樣或效率相當的潔淨服。當他們(men) 進出淨化廠房時，應與(yu) 淨化廠房工作人員采用相同的方式更衣。無論是周末或其他歇班時間，不穿著潔淨服絕不允許進入淨化廠房。維修人員和服務人員進入淨化廠房前一定要脫下其原來的工作服，更換潔淨服前要認真洗手。
淨化廠房專(zhuan) 用工具
淨化廠房維修用的工具僅(jin) 供淨化廠房內(nei) 使用，要保持潔淨。若維修人員和服務人員或者外單位的承包商，需要將其必須的工具帶入淨化廠房時，這些工具應經過清潔，方可帶入淨化廠房。
文字、圖紙等資料的進入
書(shu) 寫(xie) 在非淨化廠房專(zhuan) 用紙上的文字或圖紙等資料不得帶入淨化廠房內(nei) 。可將其複印在潔淨 室專(zhuan) 用紙上，或者覆以塑料膜，或者放人淨化廠房專(zhuan) 用塑料袋中方可帶人淨化廠房。
產(chan) 塵作業(ye) 需隔離
一些產(chan) 生粒子的作業(ye) ，如鑽洞、修理頂棚和地麵，應與(yu) 淨化廠房的其餘(yu) 部分采取相應措 施隔離開。同時，宜采用局部排風或真空吸塵器，清除所產(chan) 生的粒子。
維修工作後的清掃
維修人員和服務人員在工作完成後必須按淨化廠房要求清理現場，並確保由具有專(zhuan) 業(ye) 知 識的人員將該區域按“淨化廠房清潔方式”進行清潔，清掃時隻能使用經審定可用於(yu) 淨化廠房 的清潔劑、清潔材料和清潔設備。
1.2淨化廠房內(nei) 需遵守的紀律
為(wei) 保證產(chan) 品不受汙染，淨化廠房內(nei) 的工作人員必須遵守相關(guan) 的行為(wei) 準則。淨化廠房管理人 員必須製定一套與(yu) 其淨化廠房產(chan) 品要求相適應的規章製度，在人員培訓中，予以宣講公布。並將這些規章製度張貼在更衣區或生產(chan) 區。以下給出了一般采用的規章製度宜於(yu) 包括的內(nei) 容。
1. 2.1防止沿通道逆向氣流增加汙染
為(wei) 防止空氣不會(hui) 從(cong) 高汙染區向低汙染區，由淨化廠房外走廊向生產(chan) 車間逆向流動，工作 人員應遵守以下紀律：
1.人員必須經過更衣區進出淨化廠房
更衣區不僅(jin) 是用於(yu) 更衣的，它也是外部的汙染走廊與(yu) 潔淨生產(chan) 區之間的緩衝(chong) 區。除非 特殊情況，工作人員不得使用生產(chan) 區與(yu) 走廊間的緊急出口等直接出口，因為(wei) 這會(hui) 使汙染直接進人生產(chan) 區，同時他們(men) 的服裝也會(hui) 因此受到汙染。
2.淨化廠房所有的門應關(guan) 閉（除保持正壓外）門若敞開時，兩(liang) 個(ge) 毗鄰區域間的空氣會(hui) 由於(yu) 紊流及區域溫差產(chan) 生逆向流動。
3.手動關(guan) 門、開門的動作要慢
如果快速開、關(guan) 門，空氣會(hui) 因門扇轉動偏快使誘導作用增強，造成空氣向淨化廠房內(nei) 逆向流動。
對於(yu) 正壓淨化廠房，門一般是向裏開，即向生產(chan) 間開。室內(nei) 較高的空氣壓力使門關(guan) 閉較嚴(yan) 密。有些為(wei) 了使手上持有物品的人員出門方便而向外開，門上應安裝關(guan) 門器，使門平時處於(yu) 關(guan) 閉狀態，且開關(guan) 門時關(guan) 門器應控製門緩慢轉動以減少誘導作用所產(chan) 生的空氣逆向流動。外開的門一般不帶把手，有助於(yu) 避免手套造成的汙染。
4.穿過氣閘室的注意點（風淋室）應確保在第一道門已關(guan) 閉時再通過第二道門。可使用指示燈，顯示門是否處在關(guan) 閉狀 態。通常兩(liang) 邊門采用電子聯鎖裝置即可實現這一點。傳(chuan) 遞窗的用法與(yu) 此相似。但要注意的是，當發生火災時，必須保證氣閘室不會(hui) 因此產(chan) 生危險。換句話說，出現火警時，氣閘室門禁電子聯鎖應解除。
1.2.2防止工作人員在淨化廠房內(nei) 的不當動作增加汙染為(wei) 保證人員的動作不會(hui) 在淨化廠房內(nei) 造成過多的汙染，應考慮下麵的相關(guan) 建議：
1.工作人員不允許有不當行為(wei) 人員汙染物的產(chan) 生量與(yu) 活動量成正比。根據美國著名潔淨技術先驅Austin. P. R. 1965 年發表在美國汙染控製協會(hui) （AACC)的汙染索引（Contamination Index)的測試數據，人 員身著潔淨服不同動作時的產(chan) 塵量如表1-1所列。從(cong) 表中可知，人靜止不動時，每分鍾產(chan) 生的大於(yu) 等於(yu) 0.3um的粒子約為(wei) 10萬(wan) 個(ge) ；人在活動時身體(ti) 、頭、肩膀等每分鍾可產(chan) 生大 於(yu) 等於(yu) 0.3um的粒子約為(wei) 1百萬(wan) 個(ge) ；人的走動速度為(wei) 3.6km/h時，每分鍾產(chan) 生的大於(yu) 等於(yu) 0.3um的粒子約為(wei) 5百萬(wan) 個(ge) 。因此，要求淨化廠房所有人員不要“輕舉(ju) 妄動”，任何移動 都應慎重，並按規定進行，不允許過多無用的動作。
操作人員要正確站位:
人員相對產(chan) 品而言，應處在正確的位置上，這樣才不致汙染物落在產(chan) 品上。不應傾(qing) 身在產(chan) 品上方，否則從(cong) 其身上散落的粒子、纖維或帶有微生物的粒子就會(hui) 掉在產(chan) 品上。
移動或拿起產(chan) 品的方法:
必須事先考慮好如何移動或拿起產(chan) 品。為(wei) 防止戴有手套的手汙染產(chan) 品，建議采用“無接觸”方式拿起產(chan) 品。雖然在淨化廠房中人員戴有手套，汙染會(hui) 少些，但它仍然可能成為(wei) 汙染源。在線寬較大，尚可允許較低的成品率時，這種方法仍在使用。“無接觸”方式的一 個(ge) 例子就是使用長夾子移動材料，這樣就避免了用手拿材料造成的汙染，人員不應靠身體(ti) 來搬運材料
盡管人員穿著的潔淨服比普通服裝或工作服潔淨得多，但服裝上仍然存在粒子、纖維並且有可能因不當操作轉移到所搬運的物品上。因此操作人員同時應注意防止讓任何物品在產(chan) 品的上方拖過。
人員不宜觸摸、倚靠淨化廠房的任何表麵:
盡管淨化廠房的表麵比室外要潔淨得多，但在室內(nei) 設備的表麵上，仍會(hui) 存留有粒子、纖 維及細菌。如果人員從(cong) 這些表麵上粘上汙染物，這些汙染物就可能傳(chuan) 到產(chan) 品上。在淨化廠房 內(nei) 無需用手時，宜兩(liang) 手抓緊置於(yu) 身前，有助於(yu) 防止手部不經意地觸摸淨化廠房設備表麵。
人員在工作時不應說話:
說話、咳嗽、打噴嚏等都會(hui) 使唾液從(cong) 口罩與(yu) 皮膚的縫隙處噴出而汙染產(chan) 品。在咳嗽或 打噴嚏時，必須將頭從(cong) 產(chan) 品處移開。打噴嚏後一般都要更換口罩。口罩一定要罩在鼻子上而不得在鼻下，因為(wei) 喘粗氣時大粒子會(hui) 從(cong) 鼻內(nei) 釋放出來。
私人手帕不能帶入淨化廠房內(nei) :
私人手帕顯然是汙染源，它可以把粒子（包括帶有微生物的粒子）帶人空氣中，粘在手套上。在淨化廠房內(nei) 也不能擤鼻子，擤鼻子可以在更衣區進行，事後一定要更換手套。工作人員在淨化廠房內(nei) 還應避免接觸自身皮膚，搔癢、擦拭任何部位的皮膚，都屬不妥行為(wei) 。
1.2.3防止淨化廠房內(nei) 材料使用不當而增加汙染;
有關(guan) 淨化廠房內(nei) 使用材料的建議如下：
1.在淨化廠房中應使用汙染程度低的抹布
選擇使用哪種形式的抹布，由淨化廠房的維護費用預算和淨化廠房生產(chan) 什麽(me) 產(chan) 品來決(jue) 定。 並且還必須確定抹布丟(diu) 棄前可以重複使用的次數。
淨化廠房之間應盡可能減少材料的移動:
每次將產(chan) 品帶出淨化廠房，它就有可能在潔淨度較差的區域受到汙染。而當它再度進入淨化廠房時，就會(hui) 將這種汙染帶入室內(nei) 。最好將產(chan) 品儲(chu) 存在淨化廠房一個(ge) 合適的潔淨區域內(nei) ，或儲(chu) 存在毗鄰的潔淨區。
防止加工品被汙染:
在生產(chan) 階段，人們(men) 一般非常注意不使產(chan) 品受到汙染。而產(chan) 品一旦完成某工序後，往 在淨化廠房內(nei) 容易被遺忘，灰塵就會(hui) 在產(chan) 品上聚集。因此，易受汙染的產(chan) 品要置於(yu) 密封櫃中，或容器內(nei) ，或單向流工作台內(nei) ，或隔離裝置內(nei) 。如果淨化廠房為(wei) 單向流淨化廠房，可以使用氣流能夠穿過其間的儲(chu) 物架放置產(chan) 品。此外，不得將材料置於(yu) 地板上。
廢棄物的處理:
要經常將廢棄物收集起來放人易於(yu) 識別的容器內(nei) ，並移出淨化廠房。
保持淨化廠房整潔:
要采用正確的方法清掃淨化廠房，或在需要時對淨化廠房進行消毒，要保持淨化廠房內(nei) 整齊有序。必須使用合乎要求的清潔工具，才能保證清潔效果。
淨化廠房在一定空間範圍內(nei) ，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等汙染物排除，並將室內(nei) 溫度、潔淨度、壓力、氣流速度與(yu) 氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內(nei) 的工程學科。淨化廠房所特別設計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nei) 均具有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能。這比用紊流來描述亂(luan) 流潔淨室更確切、更全麵。紊流主要決(jue) 定於(yu) 雷諾數，潔淨房也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個(ge) 高效過濾器頂送的送風形式，則即使流速極低，也要產(chan) 生上述各種結果，這就因為(wei) 它是一個(ge) 突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅(jin) 有流層之間因紊流流動而發生的摻混，而且還有全室範圍內(nei) 的大的回流、旋渦所發生的摻混。
具體(ti) 工藝對溫度的要求以後還要列舉(ju) ，潔淨房但作為(wei) 總的原則看，由於(yu) 加工精度越來越精細，所以對溫度波動範圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產(chan) 的光刻曝光工藝中，作為(wei) 掩膜板材料的玻璃與(yu) 矽片的熱膨脹係數的差要求越來越小。直徑100 um的矽片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為(wei) 人出汗以後，對產(chan) 品將有汙染，潔淨房特別是怕鈉的半導體(ti) 車間，這種車間不宜超過25度。