淨化工程亂流潔淨室的原理

淨化工程亂(luan) 流潔淨室的原理

淨化工程是指控製產(chan) 品 (如矽芯片等) 所接觸大氣的潔淨度及溫濕度，使產(chan) 品能在一個(ge) 良好的環境空間中生產(chan) 、製造。此環境空間的設計施工過程即可稱為(wei) 淨化工程。

淨化工程亂(luan) 流潔淨室的原理:
亂(luan) 流潔淨室的主要特點是從(cong) 來流到出流（從(cong) 高效送風口到回風口）之間氣流的流通截麵是變化的，潔淨室截麵比送風口截麵大得多，因而不能在全室截麵或者在全室工作區截麵形成勻速氣流。所以，高效送風口以後的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內(nei) 不可能以單一方向流動，將會(hui) 彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chan) 生。這就決(jue) 定亂(luan) 流潔淨室的流態實質是：突變流；非均勻流。
這比用紊流來描述亂(luan) 流潔淨室更確切、更全麵。紊流主要決(jue) 定於(yu) 雷諾數，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個(ge) 高效過濾器頂送的送風形式，則即使流速極低，也要產(chan) 生上述各種結果，這就因為(wei) 它是一個(ge) 突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅(jin) 有流層之間因紊流流動而發生的摻混，而且還有全室範圍內(nei) 的大的回流、旋渦所發生的摻混。

淨化工程單向流潔淨室:
單向流潔淨室一般有兩(liang) 種類型，即水平流和垂直流。在水平流係統中，氣流是從(cong) 一麵牆流向另一麵牆。在垂直流係統中，氣流是從(cong) 吊頂流向地麵。對要求潔淨室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔淨室為(wei) “層流”潔淨室。

單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個(ge) 方向流動（或是垂直的或是水平的），並以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鍾至100英尺/分鍾）的均速流過整個(ge) 空間。由滿布潔淨室吊頂的高效過濾器向室內(nei) 送風。

氣流有如一個(ge) 空氣活塞，向下流經室內(nei) ，帶走汙染物，然後從(cong) 地麵排出。又在與(yu) 外部的一些新鮮空氣混合後，再循環至高效過濾器。人員和工藝所產(chan) 生的懸浮汙染可立即被這種空氣清除掉，而紊流通風係統采用的是混合與(yu) 稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間，單向流用比前麵提到的低得多的風速，就可以很快將汙染物清除。

但在一個(ge) 操作間，機器以及機器周圍走動的人員，會(hui) 對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流，從(cong) 而在障礙物周圍形成氣流團。

人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中，由於(yu) 風速較低，空氣稀釋程度較小，從(cong) 而使得汙染濃度較高。因此，必須將風速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鍾至100英尺/分鍾）的範圍裏，以便使中斷的單向流能快速恢複，充分稀釋障礙物周圍紊流區的汙染。用風速可以正確地表示出單向流，因為(wei) 風速越高室內(nei) 就越潔淨。而每小時換氣次數與(yu) 房間的體(ti) 積有關(guan) ，如吊頂的高低，因此不適合用來表示單向流。單向流室內(nei) 的送風量是紊流室的很多倍（10到100倍）。