層流罩在潔淨室的應用
層流罩在潔淨室的應用
潔淨廠房淨化工程設計中層流罩具有實現1級、10級、100級、1000級等不同級別的潔淨室的淨化單元設備。
層流罩進行性能測試和工程設計經驗，總結了層流罩的應用與(yu) 選擇上的注意事項。早在二十世紀六十年代，第一個(ge) 層流室的建立就已經開始出現層流罩的應用了。但直到1984年，在亞(ya) 洲才出現大規模應用層流罩的事例（大約有5000台）。是什麽(me) 原因導致層流罩在這麽(me) 長的時間沒有得到廣泛的發展呢？有三個(ge) 問題占主導地位。
第一：噪聲問題。各位可以想一想，在當時的生產(chan) 工藝水平下，5000台風機在一起的噪聲會(hui) 是多大呢？
第二：壓力平衡。在很大的靜壓箱裏，每一個(ge) 不同角落的風機是否能得到均衡的壓力，這在當時也是不能夠得到保證的。
第三：維護問題。層流罩本身造價(jia) 就比較高，如果它的電機壽命不能保證的話，更換又會(hui) 帶來附加投資。這些都是造成當時的企業(ye) 不選擇使用層流罩的主要原因。
但是這一切，在1984年都發生了改變。首先是噪聲問題得到了控製，大規模的層流罩潔淨廠房都可以把噪聲控製在65DBA以下，這符合工業(ye) 廠房的標準。其次隨著自動控製的發展，監測和調節各個(ge) 角落的靜壓也變得容易起來。最後電機的壽命隨著技術的提高也得到了質的飛躍。
現在，隨著半導體(ti) 電子技術的發展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔淨等級。
第一、靈活性。因為(wei) 層流罩是自帶動力的，它不受區域的限製。在一個(ge) 偌大的潔淨廠房裏，可根據需要，分區控製。而且，隨著半導體(ti) 生產(chan) 工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，層流罩的靈活性使得這樣的調整變得輕鬆，而且不會(hui) 帶來二次投資。
第二、可再利用性。從(cong) 理論上講，一時不用的層流罩設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三、負壓通風。這是層流罩的獨特特點。由於(yu) 它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對於(yu) 潔靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內(nei) 的顆粒就不會(hui) 受到壓力的作用泄漏到潔淨區裏，使得密封變得很簡單而且安全。
第四、縮短建設周期。使用層流罩省掉了風管的製作和安裝，因為(wei) 風管在潔淨工程中，占掉很大的建設周期，任何一個(ge) 投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用層流罩成為(wei) 了一種可能。
第五、減少運行成本。雖然在選用層流罩時，初期投資要比使用風管通風高，但它在後期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。用大循環減少40%的運行成本。
層流罩及其性能：
層流罩是FAN FILTER UNIT的縮寫(xie) ，中文稱作“風機過濾器單元”也就是將風機和過濾器(高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA))組合在一起構成自身能提供動力的末端淨化設備。過去在潔淨工程中常用的帶風機的高效過濾器的高效送風口，自淨器，層流罩等都是層流罩的一種。
不過，現在所說的層流罩是具有標準模數尺寸，能按模數組合起來實現1級、10級、100級、1000級等不同級別的潔淨室的淨化單元設備。
目前，國內(nei) 、外常用的模數有1200X6mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X 3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mlTl。
層流罩一般由以下四部分組成：風機、過濾器、機殼、電器控製元件。
層流罩的應用:適應性、經濟性、風量和餘(yu) 壓、噪聲、控製、維護管理、層流罩的選擇、試驗方法和試驗裝置。
結果分析
（1）FU機組內(nei) 的高效過濾器的初阻力均不相同，大約在120—150Pa之間。
（2）當高效過濾器為(wei) 初阻力，且保證層流罩送風斷麵風速為(wei) 0.35m/s時，不同層流罩的機外餘(yu) 壓均在100Pa左右，有的高達130Pa。
當層流罩送風斷麵風速為(wei) 0.45m/s時，各機組的機外餘(yu) 壓，都能在60Pa以上。
當層流罩送風斷麵風速為(wei) 0.45m/s時，被測的層流罩的機外餘(yu) 壓都是足以克服循環通道上的阻力。
（3）層流罩的聲壓級噪聲大多在57dB(A)～59dB(A)之間。比較好的其噪聲在54dB(A)。
（4）各不同牌子的層流罩的能耗大多在160～180W，隻有個(ge) 別牌的能耗大，高達350W是一般能耗的一倍。
實現潔淨室潔淨度要求的通風措施：
潔淨室要達到潔淨等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建築平麵、建築構造、建築裝修、人員和物料淨化、空氣潔淨措施、維護管理等。其中空氣潔淨措施是實現潔淨等級的根本保證。就空氣潔淨而言，主要有以下幾項具體(ti) 措施：
1、對潔淨室的送風必須是有很高潔淨度的空氣。因此，必須選用高效或亞(ya) 高效過濾器（潔淨級別低時）作為(wei) 終端過濾器，對進入潔淨室的空氣，進行以後一級過濾。為(wei) 保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。
2、根據潔淨室的等級，合理選擇潔淨室的氣流分布流型，在工作區應避免渦流區；盡量使送入房間的潔淨度高的空氣直接到達工作區；氣流的流動有利於(yu) 潔淨室內(nei) 的微粒從(cong) 回風口排走。
3、有足夠的風量，既為(wei) 了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣流流型。
4、層流罩是一種內(nei) 配風機的吊頂用機組，用於(yu) 亂(luan) 流及層流潔淨室內(nei) ，具有可模塊化連接使用的特點，出風麵平均風速達到0.45m/s±20％。
5、不同等級的潔淨室、潔淨室與(yu) 非潔淨室或潔淨室與(yu) 室外之間均應保持一定的正壓值。