潔淨室技術適用行業及潔淨等級要求說明(淨化級別)

潔淨室技術適用行業(ye) 及潔淨等級要求說明(淨化級別)潔淨室行業(ye) 名稱:潔淨室淨化級別: 100級、1000級、10000級、100000級、300000級。

適用行業(ye) :電子行業(ye) 潔淨室、微電子行業(ye) 潔淨室、計算機行業(ye) 潔淨室、半導體(ti) 行業(ye) 潔淨室、精密機械潔淨室、精密儀(yi) 器潔淨室、儀(yi) 表潔淨室、激光行業(ye) 潔淨室、醫藥行業(ye) 潔淨室、醫院潔淨室、生物製品潔淨室、實驗室潔淨室、無菌室潔淨室、精細化工潔淨室、食品潔淨室、保健品行業(ye) 潔淨室等等。

潔淨室分類:
按氣流的流動狀態分
根據氣流的流動狀態分，主要有以下三種氣流分布的潔淨室：
（1） 非單向流潔淨室：以前常稱為(wei) 亂(luan) 流型潔淨室，室內(nei) 的氣流並不都按單一方向流動。非單向流潔淨室有幾個(ge) 共同的特點：終端過濾器（高效或亞(ya) 高效）盡量接近潔淨室，它可以就是送風口或直接連送風口，也可以接到房間的送風靜壓箱上；回風口均設在潔淨室的下部，目的是避免出現“揚灰”現象。非單向流潔淨室中都有渦流存在，不適宜用於(yu) 高潔淨度的潔淨室中，宜用於(yu) 6~9級的潔淨室中。

（2） 單向流潔淨室：單向流潔淨室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動，並且在斷截麵上風速一致，有垂直單向潔淨室，準垂直單向流，水平單向流潔淨室等。

（3） 矢量潔淨室：在房間的側(ce) 上角送風，采用扇形高效過濾器，也可以用普通高效過濾器配扇形送風口，在另一側(ce) 的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為(wei) 宜。這種潔淨室也可以達到5級（100級）潔淨度。

潔淨室的流型基本上是上述三種類型，但是實際應用時可演變出很多形式。潔淨室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區域（單向流部分）實現高級別的潔淨室。
例如，在潔淨室中設水平單向流的“隧道”（一側(ce) 敞開），潔淨室的其餘(yu) 部分是渦流的單向流流型，從(cong) 而實現“隧道”部分達到5級以上潔淨度，工作台就設在“隧道內(nei) ”。

潔淨室按受控粒子的性質劃分:
（1）工業(ye) 潔淨室：受控粒子為(wei) 塵埃等非生物粒子的潔淨室。
（2）生物潔淨室：受控粒子為(wei) 生物粒子的潔淨室。

實現潔淨度要求的通風措施:
潔淨室要達到潔淨等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建築平麵、建築構造、建築裝修、人員和物料淨化、空氣潔淨措施、維護管理等。其中空氣潔淨措施是實現潔淨等級的根本保證。就空氣潔淨而言，主要有以下幾項具體(ti) 措施：
（1）對潔淨室的送風必須是有很高潔淨度的空氣。因此，必須選用高效或亞(ya) 高效過濾器（潔淨級別低時）作為(wei) 終端過濾器，對進入潔淨室的空氣，進行最後一級過濾。為(wei) 保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。

（2）根據潔淨室的等級，合理選擇潔淨室的氣流分布流型，在工作區應避免渦流區；盡量使送入房間的潔淨度高的空氣直接到達工作區；氣流的流動有利於(yu) 潔淨室內(nei) 的微粒從(cong) 回風口排走。
（3）有足夠的風量，既為(wei) 了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣流流型。

（4）不同等級的潔淨室、潔淨室與(yu) 非潔淨室或潔淨室與(yu) 室外之間均應保持一定的正壓值。

潔淨室氣流組織考慮原則:
（1） 當產(chan) 品要求潔淨度為(wei) 100級時，選用層流流型；當產(chan) 品要求潔淨度為(wei) 1000~100000級時，選用亂(luan) 流流型。

（2）減少渦流，避免把工作區以外的汙染物帶入工作區。

（3）為(wei) 了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂(luan) 流潔淨室的回風口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側(ce) 牆下部均勻布置回風口。

（4）工作區的氣流應均勻，流速必須滿足工藝和衛生的要求；潔淨氣流應盡可能把工作部位圍罩起來，使汙染物在擴散之前便流向回風口。

（5）工作設備布置時要留有一定的間隔，為(wei) 送、回風口的布置和氣流的通暢創造條件：氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。

（6）潔淨工作台不宜布置在層流潔淨室內(nei) 。當布置在亂(luan) 流潔淨室時，宜將其置於(yu) 工作區氣流的上風側(ce) ，以提高室內(nei) 的空氣潔淨度。

（7）潔淨室內(nei) 有通風櫃時，宜置於(yu) 工作區氣流的下風側(ce) ，以減少對室內(nei) 的汙染。

潔淨室的負荷特點和節能:
一般情況下，淨化空調係統的能耗比一般空調係統的能耗大的多。其原因是兩(liang) 者之間的負荷特點不同。就潔淨室，尤其是半導體(ti) 工業(ye) 潔淨室而言，其負荷特點是：由於(yu) 排風量大造成新風量大，故新風處理所需冷量消耗大；送風量大，輸送動力消耗大，風機管道溫升高；生產(chan) 設備的發熱量大，消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此，淨化空調係統節能措施應從(cong) 減少新風量（減少排風量）；控製送風量（合理確定換氣次數）；充分利用回風量；選擇低阻力高效率的空調和淨化設備和可變風量的風機等入手。

潔淨室設計對生產(chan) 工藝的要求:
（1） 潔淨環境是為(wei) 生產(chan) 工藝服務的，潔淨室設計必須滿足生產(chan) 工藝的環境要求，這是理所當然的。因此，在潔淨室設計時生產(chan) 工藝對環境參數的要求應該實事求是，其麵積、層高，溫度、濕度，潔淨度等應該該高則高，該低則低，並非越高越好。在不影響生產(chan) 工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求，控製淨化麵積，縮小高淨化級別潔淨區的範圍，嚴(yan) 格控製100級和更高級別單向流潔淨區的麵積。

（2）在生產(chan) 工藝平麵區劃時盡可能把相同級別的潔淨房間布置在一起，把潔淨度要求高的工序設置在上風側(ce) ，把產(chan) 生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔淨區外，若必須放在潔淨區內(nei) 時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。