無塵車間潔淨室標準等級定義及最新要求

無塵車間潔淨室標準等級定義(yi) 及最新要求

其中X是無塵車間的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm, 0.5μm等,可複選。意思就是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。

無塵車間標準最新要求:
空氣中微粒的潔淨等級對照空氣微粒潔淨等級（每立方米，每立方英尺）微粒的最大濃度限值。

無塵車間潔淨室最主要之作用在於(yu) 控製產(chan) 品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產(chan) 品能在一個(ge) 良好之環境空間中生產(chan) 、製造，此空間我們(men) 稱之為(wei) 潔淨室。按照國際慣例，無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於(yu) 劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵，而是控製在一個(ge) 非常微量的單位上。當然這個(ge) 標準中符合灰塵標準的顆粒相對於(yu) 我們(men) 常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對於(yu) 光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會(hui) 產(chan) 生非常大的負麵影響，所以在光學構造產(chan) 品的生產(chan) 上，無塵是必然的要求。

每立方米將小於(yu) 0.3微米粒徑的微塵數量控製在3500個(ge) 以下，就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產(chan) 加工的無塵標準對於(yu) 灰塵的要求高於(yu) A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chan) 上。微塵數量被嚴(yan) 格控製在每立方米1000個(ge) 以內(nei) ，這也就是業(ye) 內(nei) 俗稱的1K級別。

無塵車間潔淨室狀態標準有以下三個(ge) :
空氣潔淨室：已經建造完成並可以投入使用的潔淨室（設施）。它具備所有有關(guan) 的服務和功能。但是，在設施內(nei) 沒有操作人員操作的設備。
靜態潔淨室：各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔淨室（設施），但是設施內(nei) 沒有操作人員。
動態潔淨室：處於(yu) 正常使用的潔淨室，服務功能完善，有設備和人員；如果需要，可從(cong) 事正常的工作。